北京慧摩森电子系统技术有限公司
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| 名称 | 精度 | |
|---|---|---|
| Z轴指标 | 运行分辨率 | 0.1μm |
| Z轴行程 | 450mm | |
| 垂直度 | 10μm | |
| 气浮转台指标 | 输出轴盘端跳和径跳 | ±0.5um |
| 额定转矩 | 6.24N.m | |
| 峰值转矩 | 18N.m | |
| 转台直径 | ＜220mm | |
| 定位精度 | ＜5″ | |
| Y轴指标 | 运行分辨率 | 0.1μm |
| 行程 | 250mm | |
| 直线度 | 5μm | |
| Z2轴指标 | 运行分辨率 | 0.1μm |
| 行程 | 300mm | |
| 垂直度 | 10μm |
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