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运动控制平台

BJSM真空直线电机平台

文章来源:未知时间:2020-12-31 点击:

 

慧摩森多轴真空直线电机平台适用于真空度10-8torr的环境,可根据客户要求定制。系统应用:空间技术、生物医疗、粒子物理、核工业、航天航空、材料表面分析、显微技术、半导体制造等

 
详细说明


BJSM真空直线电机平台
1、可定制轴数:1-5轴
2、单轴有效行程:0-2000mm 
3、重复定位精度:≤+/-2um;定位精度:≤+/-2um
4、最大速度:1m/s
5、加速度:1G
6、直线度:≤10um
7、使用环境:真空度 10-8 torr  

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