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运动控制平台

BJSM真空直线电机平台

文章来源:未知时间:2019-11-06 点击:


BJSM真空直线电机平台
1、有效行程:0-3000mm 
2、重复定位精度:≤+/-2um;定位精度:≤+/-2um
3、最大速度:1m/s
4、加速度:1G
5、直线度:≤10um
6、使用环境:真空度 10-8 torr  

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